产品简介

惠然6,8 inch CD-SEM（关键尺寸量测设备）利用优良的电子束扫描成像技术，对光刻胶线条宽度或刻蚀后栅极线条宽度进行关键尺寸的在线测量，并与设计尺寸实时比对避免偏离，实现关键工艺参数的监控，是提高芯片制造良率、维持产品质量一致性的关键设备。主要应用于显影后光刻胶的临界尺寸测量以及刻蚀后接触孔直径/通孔直径和栅极线条宽度测量。

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