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产品简介
惠然晶圆缺陷检测数据智能分析系统,可有效缩短缺陷检测模型开发周期,在优化晶圆检测质量的同时降低生产成本;通过自动判图功能有效提升工作效率,依托迭代模型训练实现检测指标持续优化,可检测50+种缺陷类型,F-score可达98%。
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惠然AIDC基于机器视觉与深度学习智能检测晶圆缺陷
惠然晶圆缺陷检测数据智能分析系统的AIDC晶圆缺陷检测方案,核心依托机器视觉技术与深度学习算法的协同融合,构建高效、精准的智能化晶圆缺陷检测体系,可实现对半导体晶圆表面缺陷的自动化、智能化检测,摆脱对人工检测的依赖,大幅提升缺陷检测的效率与准确性。
相较于传统晶圆缺陷检测技术存在的局限性——传统检测技术需依靠人工手动定义各类缺陷的特征参数,不仅耗时耗力,还易因人工判断差异导致缺陷识别偏差,适配性较差;惠然AIDC采用深度学习驱动的目标检测技术,可实现晶圆图像特征的端到端自主提取,无需人工介入特征定义的中间环节,有效规避人工操作带来的误差。同时,基于自主提取的图像特征,该方案能够精准完成缺陷的自动定位,快速锁定晶圆表面缺陷的具体位置,并且同步实现缺陷类别的精准判定,明确区分不同类型的缺陷,为后续缺陷分析、工艺优化提供精准可靠的支撑。


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