ZYGO 3D 光学轮廓仪宣传册

ZYGO 3D 光学轮廓仪宣传册系统介绍了 ZYGO 在非接触光学计量领域的技术积累与产品家族。ZYGO 拥有 50 多年超精密制造经验，其 3D 光学轮廓仪基于相干扫描干涉（CSI）技术，可在所有放大倍数下提供亚纳米级测量精度，对光滑、粗糙、平坦、大倾角、台阶及透明薄膜等表面进行非接触、无损、高分辨率三维形貌测量，结果符合 ISO 25178、ISO 4287/4288 等标准。

核心产品系列：

• NewView 9000：高精度、高速 3D 光学轮廓仪，配备 SureScan™ 抗振扫描、Part Finder 自动条纹对焦、Smart Setup 智能设置，支持自动化拼接测量。

• NexView Nx2：全自动 3D 光学轮廓仪，所有放大倍数下均提供亚纳米精度，支持 SmartPSI™ 超光滑表面快速测量，以及基于模型的薄膜分析（MBA），可测薄至 50nm 的透明薄膜。

• NexView 650：大样品台光学轮廓仪，平台尺寸达 650×650mm，适用于注塑模具、PCB、玻璃面板等大尺寸、重负载样品。

• ZeGage PRO / PRO HR：紧凑型桌面 3D 光学轮廓仪，PRO 提供纳米级精度，PRO HR 提供亚纳米级精度，适合工业加工表面和超光滑光学表面。

• Compass™：自动化多轴非球面/自由曲面计量方案，专用于手机镜头、汽车视觉系统等微透镜及注塑模具测量。

软件与功能：
ZYGO Mx 软件集成系统控制、数据分析与 SPC 统计过程控制，支持交互式三维显示、区域分析、台阶高度测量、图像识别、Python 脚本自动化及自定义工作区。关键功能包括 SureScan 抗振扫描、Part Finder 自动条纹对焦、Smart Setup 智能设置、SmartPSI 高速低噪声测量、拼接测量与自动化功能。

配件与扩展：
提供 1X–100X 干涉物镜、长工作距离/超长工作距离物镜、光程补偿物镜、多种样品台、夹具、校准标准块及 Guardian 工业保护罩，可适应车间现场和生产环境。

应用行业：
消费电子、汽车与精密加工、光学制造、微电子、医疗、先进技术研发等。典型应用包括手机摄像头、传动齿轮、人工关节植入体、AR/VR 显示、晶圆与面板检测等。

OEM 与定制：
ZYGO 可基于标准系统修改、设计专用夹具、定制软件，并提供系统集成和 OEM 计量解决方案，满足特殊应用需求。

该宣传册适合需要高精度、非接触、可重复表面计量方案的工业制造、质量控制和研发用户选型参考。