ZYGO 3D 光学轮廓仪综合宣传册（23版）

ZYGO 3D 光学轮廓仪是面向精密计量与工业制造的非接触式光学计量解决方案。基于相干扫描干涉（CSI）技术，仪器可在所有放大倍数下提供亚纳米级纵向分辨率，快速、无损地测量光滑、粗糙、平坦、大倾角、台阶及透明薄膜等表面形貌，测量结果符合 ISO 25178、ISO 4287/4288 等标准。ZYGO 拥有 50 余年超精密制造经验，产品广泛应用于消费电子、汽车与精密加工、光学制造、半导体、医疗及先进技术研发等领域。

核心技术：

• CSI 相干扫描干涉：通过干涉显微物镜垂直扫描，获取整个视场三维数据，纵向分辨率达亚纳米级；

• SureScan™ 抗振扫描：在振动环境中实现精密计量，支持车间现场在线检测；

• Part Finder 自动条纹对焦 / Smart Setup 智能设置：无需专家培训，1 分钟内自动找到条纹并完成测试；

• SmartPSI™：高精度、高速、低噪声测量，超光滑表面 Sq 可达 0.06nm，重复性 0.005nm；

• Mx 软件：集成系统控制、数据分析与 SPC，支持区域分析、台阶高度测量、拼接测量、自动化、Python 脚本及自定义工作区。

主要型号：

• ZeGage PRO / PRO HR：紧凑型桌面 3D 光学轮廓仪。PRO 提供纳米级精度，适合大多数工业加工表面；PRO HR 提供亚纳米级精度，适合超光滑光学表面和精密抛光金属。

• NewView 9000：高精度、高速 3D 光学轮廓仪，支持自动化拼接测量，适用于各类表面形貌分析。

• NexView NX2：全自动 3D 光学轮廓仪，所有放大倍数下均提供亚纳米精度，支持 MBA 薄膜分析，可测薄至 50nm 的透明薄膜。

• NexView 650：大样品台光学轮廓仪，平台尺寸达 650×650mm，适用于注塑模具、PCB、玻璃面板等大尺寸、重负载样品。

• Compass™ / Compass RT：自动化多轴非球面/自由曲面计量方案，专用于手机镜头、汽车视觉系统等微透镜及注塑模具测量。

主要功能与应用：

• 面形、波纹度、粗糙度测量，覆盖低频到高频空间频率；

• 台阶高度测量可达 20,000μm，精度与重复性出色；

• 区域分析工具可分离并分析特定表面特征；

• 自动图像识别，可同时获取线宽、间距、特征尺寸等；

• 透明膜测量：所有系统可测 >400nm 薄膜，NewView/NexView/Compass 可测 1–150μm 薄膜厚度与形貌，NexView 的 MBA 技术可测薄至 50nm 薄膜；

• 摩擦学与磨损分析，适用于材料研究、表面精加工和润滑工程。

OEM 与定制：
ZYGO 提供定制样品夹具、保护罩、隔振系统、软件、系统集成和 OEM 计量解决方案，满足特殊应用需求。

ZYGO 以“Passion. Confidence. Experience. Beyond Precision."为理念，持续为全球工业制造与研发提供可靠、可重复、高精度的 3D 光学计量方案。