ZYGO NewView 9000 3D 光学轮廓仪产品介绍

ZYGO NewView 9000 是一款高精度、高速、非接触式 3D 光学表面轮廓仪，基于 ZYGO 相干扫描干涉（CSI）技术，可在所有放大倍数下提供亚纳米级纵向分辨率，用于测量光滑、粗糙、平坦、大倾角、台阶及薄膜等各类表面形貌，测量过程无损且无需特殊样品制备。仪器符合 ISO 25178、ISO 4287/4288 等标准，适用于实验室精密计量与工业自动化生产。

核心技术与特点：

• CSI 相干扫描干涉：通过干涉显微物镜垂直扫描，获取整个视场三维数据，纵向分辨率达亚纳米级；

• SureScan™ 抗振扫描：可在振动环境中进行精密计量，支持车间现场在线检测；

• Part Finder 自动条纹对焦 / Smart Setup 智能设置：无需专家培训，1 分钟内自动找到条纹并完成测试；

• SmartPSI™：高速、低噪声测量，超光滑表面 Sq 可达 0.06 nm，重复性 0.005 nm；

• Mx 软件：集成系统控制、数据分析与 SPC，支持区域分析、台阶高度测量、拼接测量、自动化、Python 脚本及自定义工作区；

• 单次采样超过 190 万像素数据，三维可视化，自动智能配置。

主要性能参数：

• 纵向扫描范围：150 μm 精密压电陶瓷扫描，20 mm 扩展扫描；

• 表面形貌重复性：< 0.08 nm；

• RMS 重复性：0.008 nm；

• 光学横向分辨率：0.34 μm（100× 物镜）；

• 空间采样分辨率：0.04 μm（100× 物镜 2× zoom）；

• 最大扫描速度：53 μm/sec @1600×1200；69 μm/sec @1000×1000；107 μm/sec @1000×600；171 μm/sec @1000×200；

• 台阶高度重复性：0.1%；台阶测试精度：0.3%；

• 样品最大尺寸：89 × 203 × 203 mm（高×宽×长），台面 150 × 150 mm；

• 最大倾斜容忍度：55°（光滑样品 @100×）、86°（散射面）；

• 反射率范围：0.05%–100%；

• 物镜：0.5×–100×，可选标准/长焦/超长焦工作距离；

• 物镜座：单物镜夹具、手动编码 4 位塔台、电控 4 位塔台；

• 光学 Zoom：主机含 1× 目镜及 3 位编码 zoom 切换，0.5×、0.75×、1.5×、2.0× 可选；

• Z 轴驱动：100 mm 行程，0.1 μm 分辨率；

• 样品台：手动 XY 100 mm、倾斜 ±3°；电控 XY 150 mm、倾斜 ±3°；可选编码 XYZ 轴；

• 控制系统：i7 级 PC，23 寸 1080p 显示器，Windows 10 64 位，ZYGO Mx 软件。

应用领域：

• 面形、波纹度、粗糙度测量；

• 台阶高度与区域分析；

• 摩擦学与磨损分析；

• 自动图像识别与关键尺寸测量；

• 透明膜测量（可测 >400 nm 薄膜，NewView/NexView/Compass 可测 1–150 μm 薄膜厚度与形貌）；

• 消费电子、汽车与精密加工、光学制造、半导体、医疗及先进技术研发。

ZYGO NewView 9000 以高精度、高重复性、抗振能力和自动化功能，为精密制造与研发提供可靠的 3D 光学计量解决方案。