ZYGO NexView NX2 全自动 3D 光学轮廓仪产品介绍

ZYGO NexView NX2 是 ZYGO 先进的全自动 3D 光学轮廓仪，无需任何手动调整，结合精度、先进的算法、自动化测量和应用灵活性。仪器在所有放大倍数下均提供亚纳米精度，相比市场上其他光学轮廓仪，能更快、更精确地测量各种样品表面。基于相干扫描干涉（CSI）技术，NexView NX2 可测量几乎任何材料的表面，包括平面度、粗糙度、波纹度、薄膜厚度、台阶高度等，2D 和 3D 结果符合 ISO 25178 和 ISO 4287 标准。

核心技术与特点：

• CSI 相干扫描干涉：通过干涉显微物镜垂直扫描，获取整个视场三维数据，纵向分辨率达亚纳米级；

• SureScan™ 抗振扫描：可在振动环境中进行精密计量，支持车间现场在线检测；

• Part Finder 自动条纹对焦 / Smart Setup 智能设置：无需专家培训，1 分钟内自动找到条纹并完成测试；

• SmartPSI™：高速、低噪声测量，超光滑表面 Sq 可达 0.06 nm，重复性 0.005 nm，仅几秒完成测试；

• MBA 基于模型的薄膜分析：可测量分析薄至 50 nm 的透明薄膜，并通过 PCOR 校正反射相变，准确描绘不同材料的高度；

• Mx 软件：集成系统控制、数据分析与 SPC，支持区域分析、台阶高度测量、拼接测量、自动化、Python 脚本及自定义工作区。

主要性能参数：

• 纵向扫描范围：150 μm 精密压电陶瓷扫描，20 mm 扩展扫描；

• 表面形貌重复性：< 0.06 nm；

• RMS 重复性：0.005 nm；

• 光学横向分辨率：0.34 μm（100× 物镜）；

• 空间采样分辨率：0.04 μm（100× 物镜 2× zoom）；

• 扫描速度：53 μm/sec @1600×1200；69 μm/sec @1000×1000；107 μm/sec @1000×600；171 μm/sec @1000×200；

• 台阶高度重复性：0.1%；台阶高度精度：0.3%；

• 样品尺寸：89 mm，通过抬高头部或龙门架可提高测样高度；

• 倾斜容忍度：55°（光滑样品 @100×）、85°（散射面）；

• 反射率范围：0.05%–100%；

• 物镜：0.5×–100×，可选标准/长焦/超长焦工作距离；

• 物镜座：单物镜夹具、手动编码 4 位塔台、电控 4 位塔台；

• 光学 Zoom：主机含 0.5×、1.0×、2.0×，0.75×、1.5× 可选；

• Z 轴驱动：100 mm 行程，0.1 μm 分辨率；

• 样品台：电控 XY 200 mm 或 200×325 mm，倾斜 ±4°，可选编码 200×200×100（XYZ）；

• 控制系统：i7 级 PC，23 寸 1080p 显示器，Windows 10 64 位，ZYGO Mx 软件。

应用领域：

• 面形、波纹度、粗糙度测量；

• 台阶高度与区域分析；

• 摩擦学与磨损分析；

• 自动图像识别与关键尺寸测量；

• 透明膜测量（可测 >400 nm 薄膜，1–150 μm 薄膜厚度与形貌，MBA 技术可测薄至 50 nm）；

• 消费电子、汽车与精密加工、光学制造、半导体、医疗及先进技术研发。

NexView NX2 以全自动操作、亚纳米精度和稳定性，为苛刻的挑战性应用提供可靠的 3D 光学计量方案。