尼康NEXIV VMF-K系列影像测量系统：新增45倍物镜应对先进封装微细化

尼康推出NEXIV VMF-K系列影像测量系统，作为VMZ-K系列的升级产品。该系列搭载明视场与共聚焦两套光学系统，可在同一视场内同步完成二维尺寸与高度测量，相比仅依赖明视场图像进行高度测量的方式，吞吐量显著提升。据尼康标准测量条件，VMF-K系列的测量吞吐量约为前代VMZ-K系列的1.5倍。

在光学配置上，VMF-K系列的共聚焦光源由氙灯更换为LED，使用寿命从3000小时延长至30000小时，降低了灯泡更换的维护频率。产品线新增45倍物镜型号，可支持先进封装中2μm以下线宽及L/S 1.5μm级别的微细尺寸测量。系列包含VMF-K3040（行程300×400×150mm）和VMF-K6555（行程650×550×150mm）等型号，后续新增的VMF-K6561搭载650×610mm大尺寸载物台，可兼容600×600mm面板级封装整板测量，载物台采用加厚玻璃以保障测量稳定性。该系列符合SEMI S2/S8半导体制造设备安全标准。