尼康NEXIV VMF-K系列影像测量系统发布，测量吞吐量提升约1.5倍

尼康推出NEXIV VMF-K系列高性能影像测量系统，作为VMZ-K系列的升级产品，面向半导体及电子元器件检测需求。该系列搭载共聚焦光学系统，可在同一视场内同时完成二维尺寸与高度测量，相比仅依赖明场图像进行高度测量的方式，吞吐量显著提升。据尼康标准测量条件，VMF-K系列的测量吞吐量约为前代VMZ-K系列的1.5倍。

在光源配置上，VMF-K系列的共聚焦光源由氙灯更换为LED，使用寿命从3000小时延长至30000小时，降低了更换灯泡的维护频率。产品线新增45倍物镜型号，可支持先进封装中更精细的尺寸测量需求，据尼康方面介绍，该型号可测量L/S 1.5μm级别的细微线宽。系列包含VMF-K3040（行程300×400×150mm）和VMF-K6555（行程650×550×150mm）等型号，后续还新增了VMF-K6561大平台型号，支持600×600mm大尺寸面板级封装测量。该系列同时符合SEMI S2/S8半导体制造设备安全标准。