微电子和半导体行业 快速检测 — 快速响应 DM3 XL 检验系统

高效检验样品

检验、过程控制或缺陷和故障分析全部与速度相关：任何缺陷都有可能使生产陷入瘫痪；您需要一台显微镜来帮助团队尽快且尽可能准确地检测缺陷。

DM3 XL 检验系统助您节省检验时间。充分利用宏观物镜，视场宽敞 30%。DM3 XL 为中等预算用户提供gao端品质，因为您没有时间去妥协。

更多细节尽收眼底，工作更高效看到更多细节意味着工作更高效。DM3 XL 检验系统提供物镜，可快速扫描6" 的组件。放大倍率为 0.7x 的宏观物镜能够即刻采集 35.7 mm 的视场 —比可用的扫描物镜宽敞 30%。

通过常规扫描物镜看不见的区域在宏观概览下无所遁形：晶片边缘或中心显影不足的区域以及不均匀的径向膜厚度全部清晰可见，增强您的收益率常规物镜的视场宏观物镜的视场适用于所有相衬观察方法的 LED DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明：明场、暗场、微分干涉相衬 (DIC)、偏光和斜射照明。LED 照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。因此，您始终可以看到相同颜色的样品，获得可复制的结果。凭借长达 35,000 小时的使用寿命和低能耗，LED 还具有巨大的成本节省潜能，并优化公司的碳排放。

> 在所有亮度等级下实现真彩色成像

> 自由调节

> 没有更换灯泡导致的停机时间