产品简介

JDP-Z 系列气浮自平衡隔振光学平台是精点光电的气浮自平衡隔振光学平台，采用整体焊接支架、半膜片式空气弹簧与 SUS430 铁磁不锈钢台面。固有频率＜1.2～2 Hz，振幅＜1.2 μm，平面度 0.02～0.05 mm/㎡，配三水平调节阀自动调平，重复调平精度可达 ±0.1～±0.5 mm。

一、JDP-Z 系列气浮自平衡隔振光学平台产品简介

JDP-Z 系列是精点光电的气浮自平衡隔振光学平台，采用整体焊接支架、半膜片式空气弹簧与 SUS430 铁磁不锈钢台面。固有频率＜1.2～2 Hz，振幅＜1.2 μm，平面度 0.02～0.05 mm/㎡，配三水平调节阀自动调平，重复调平精度可达 ±0.1～±0.5 mm。

二、JDP-Z 系列气浮自平衡隔振光学平台测量原理与工作方式

气浮隔振平台用空气弹簧把台面与地面振动隔离开：支撑腿内的气室与阻尼孔构成低刚度支撑，使系统固有频率降到很低，地面中高频振动被明显衰减。与被动阻尼平台相比，它对低频与超低频扰动更敏感，适合干涉测量、超快激光等对环境要求较高的实验。

自动平衡由三个水平调节阀完成。台面姿态变化被感知后，系统对相应气囊充气或放气，使台面恢复水平；支撑腿内部采用二级气室结构，气室之间带阻尼孔，兼顾响应速度与稳定性。JDP-Z 系列标配静音无油空气压缩机，工作压力 3～7 kg/cm²。

图 1　JDP-Z 系列 产品图示（来源：精点光电）

三、产品特点

1. 空气弹簧与自动调平

采用高品质气囊与进口气控阀构成空气伺服系统，三水平调节阀反应灵敏，在超载偏重的实验条件下可恢复初始平衡状态。产品页给出的重复调平精度为 ±0.1～±0.5 mm，用于保证实验条件的一致性。

图 2　气浮自平衡隔振光学平台（来源：精点光电）

2. 高刚性蜂窝台面

上层 4～6 mm 导磁不锈钢 + 钢制蜂窝夹层 + 碳钢底板，硬重比高；上台面为 SUS430 铁磁不锈钢，常规厚度 6 mm，标准台面厚度按尺寸设计为 50 / 100 / 150 / 200 / 300 mm，可定制。台面经精密磨削，平面度 0.02～0.05 mm/㎡，均布 25 mm 孔距 M6 螺纹孔。

图 3　智能的自动调平与快速响应（来源：精点光电）

3. 隔振指标

固有频率＜1.2～2 Hz、振幅＜1.2 μm、粗糙度＜0.6 μm、孔精度 ±0.03 mm、孔距精度 ±0.05 mm。厂方特性说明中另给出「固有频率小于 1.0～2 Hz」，两处为近似口径，验收时以实测条件为准。

图 4　蜂窝高刚性台面基底（来源：精点光电）

4. 配套与移动

标配静音无油空气压缩机（工作压力 3～7 kg/cm²，噪声小于 65 分贝），可选装聚氨酯万向脚轮，在不拆除光学元件的情况下平稳移动平台。台面加支架总高 800 mm，总高度可调 -10～+15 mm，平台侧面采用黑色 PU 皮革包裹。

四、技术参数

注：固有频率在产品页记为「＜1.2～2 Hz」，特性说明另写「小于 1.0～2 Hz」，属近似口径；承载能力与外形尺寸未列出，以 *待确认* 标注。气源条件与空压机安装位置应在合同中一并约定。

五、选型与配置确认

JDP-Z 系列适合隔振要求较高、且希望在偏载或设备增减后自动恢复水平的场合，如干涉仪、超快激光、显微成像与半导体检测工位。选型时确认四点：现场能否提供稳定电源与空压机安装位；系统总重量是否落在承载范围内；所需台面尺寸与厚度；是否需要脚轮与后期移动。若现场不便维护气路，JDP-H 系列的被动阻尼方案更省事。

六、应用领域

·        干涉测量：白光干涉仪、激光干涉仪等高精度测量设备的隔振基础。

·        超快激光与非线性光学：对低频振动敏感的长光路系统。

·        显微成像：超分辨显微、共聚焦与活体成像平台的减振支撑。

·        半导体检测：晶圆检测、光刻相关实验设备的稳定台面。

·        计量与校准：高精度计量装置、标准器比对实验。

·        多用户公共平台：设备频繁增减、需要自动恢复水平的实验室。

七、使用与维护要点

1. 空压机置于通风、干燥处，气路连接后检查压力是否在 3～7 kg/cm² 范围内。

2. 通气后等待自动调平完成，再用水平仪复核台面姿态。

3. 增减设备或移动重型部件后，等待系统重新平衡再开始测量。

4. 载荷尽量均匀分布，长期偏载会加大某一气囊的调节负担。

5. 定期检查气管接头密封、冷凝水排放与空压机滤芯状态。

6. 台面螺纹孔按对角顺序分次拧紧，禁止在台面上敲击或钻孔。

7. 移动平台前确认脚轮状态与台面设备固定情况，移动后重新调平。

以上为通用要点，台面尺寸与承载不同，维护细则以随机手册为准。

八、包装、交付与验收

·        主机、附件、软件授权与随机资料按厂方标准包装，运输与进场方式在下单时确认。

·        交付清单（主机、选配模块、标准件、软件版本、随机资料）以合同附件为准，具体配置 *待确认*。

·        设备就位、安装、调平或通电、软件安装与基准校准由厂方工程师现场完成，分工按合同约定。

·        现场培训包含操作流程、参数设置、数据处理与日常维护，培训人数与时长按合同约定。

·        验收依据合同技术协议列明的项目与测试方法执行，验收样件、测试条件由双方事先约定。

·        本型号需向厂方书面确认的事项：外形尺寸、承载能力与具体型号清单未列出；固有频率两处口径需厂方统一；气源条件、空压机保修范围与耗材清单。

九、售后服务

·        整机质保期 *待确认*，质保范围与易损件清单以合同为准。

·        故障响应时间与到场时间 *待确认*，建议在合同中明确响应时限与备件供应周期。

·        提供台面调平与隔振状态复检，复检周期按现场条件确定。

·        软件版本升级与技术咨询按厂方服务政策执行。

·        超出质保期的维修按备件成本与工时计费，收费标准在下单时确认。