Sensofar 发布新一代光学 3D 表面测量平台 S neox 6：四种光学技术集成一体

Sensofar 发布新一代光学 3D 表面测量平台 S neox 6：四种光学技术集成一体

2026 年 9 月 1 日，西班牙光学计量厂商 Sensofar 正式发布其光学 3D 表面测量平台的最新一代产品——S neox 6。新系统面向工业与科研两类测量场景，在硬件、软件、自动化与测量性能四个方面进行了升级，旨在让表面测量流程更快、更简便、更直观。

表面形貌与粗糙度直接影响元器件的性能与良率。随着半导体、光子学等领域的元件尺寸不断缩小、表面结构日益复杂，测量对象已从单一的光滑表面扩展到粗糙、大坡度、透明多层等多样化表面，对测量手段的灵活性提出了更高要求。S neox 6 延续了 Sensofar 二十余年的多技术集成路线，将四种光学测量技术整合在同一平台：共聚焦技术适合从光滑到粗糙表面的高度测量，横向分辨率表现突出，可用于临界尺寸类测量；干涉测量（PSI/ePSI/CSI）擅长台阶高度、纹理细节与膜厚的高精度表征；AI 焦点变化（AI Focus Variation）通过主动照明，面向大尺寸、粗糙及陡峭表面的三维形貌测量；光谱反射技术则可对透明薄膜及多层材料进行快速、无损的厚度测量。用户可针对不同样品在同一台设备上选择合适的测量方式。

在操作层面，S neox 6 的改进贯穿整个测量流程：样品定位更灵活，机械稳定性提高，数据采集速度加快，并配备自动对焦、自动调平等自动化功能，减少手动调整环节，在保证数据质量的同时提高检测通量。

"我们希望让先进的光学计量技术更灵活、更易于使用，帮助用户测量更广泛的表面类型，提高工作效率，并基于高质量的三维数据做出更可靠的决策。"Sensofar 总裁兼shou席技术官 Roger Artigas 表示。

据悉，该平台可应用于半导体、光子学、精密制造、医疗器械、航空航天等对表面特性敏感的行业，覆盖表面粗糙度、纹理、形貌、台阶高度、薄膜厚度与关键尺寸等测量任务。在国内，北京世润科学仪器有限公司代理销售 Sensofar 系列光学测量产品；新品在国内市场的具体配置与供货安排，以品牌方发布信息及双方合同约定为准。