产品进展丨惠然科技携手北京大学攻坚PFIB-SEM

更新时间：2026-04-17

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等离子体型聚焦离子束技术（Plasma Focused Ion Beam, PFIB）在材料科学、生命医学、新能源等关键领域发挥着重要作用。惠然科技“雅"系列电镜深度融合自主核心技术，配合优化的电子光学系统，适用于纳米尺度精细表征，达成行业优良的成像分辨率。该系列设备支持EBL、TOF-SIMS、Raman等系统集成，更具备智能化操作与定制化升级能力，适配科研与工业场景的多元化需求。这种先进的离子束微纳加工和分析技术，兼具惠然自主研发的低损伤特性与高效加工优势，可广泛应用于材料微观结构分析与 TEM 样品制备、生命医学样本三维重构、新能源功能材料精密制备、原子级制造等多个关键领域，既是基础研究的 “显微镜"，更是制造的 “手术刀"。

北京大学展区

惠然科技“雅"系列扫描电镜产品

9月23日-27日，第二十五届中国国际工业博览会在国家会展中心（上海）举办。作为我国历史最长的工业展会，本届展会以“新质驱动、数智赋能"为核心理念，汇聚了来自全球28个国家和地区的3000余家中外展商参展。在此次工博会高校展区，由惠然科技与北大联合研发《等离子体型聚焦离子束》项目吸引了众多关注。该项目在惠然科技有限公司的支持下，成功攻克了PFIB相关关键技术，并自主研制成功PFIB原型机。

等离子体型聚焦离子束原理与应用示意图

展会现场

通过与惠然科技有限公司的合作，该团队成功将低功率、高性能、无污染的等离子体型离子源技术应用于PFIB电镜设备研发中，实现了优于100nm的成像分辨率以及1.5uA@15μm的性能指标，各项核心指标已初步满足高效稳定的离子束微纳加工和分析的需求。此外，在本届工博会期间，该项目以“解决卡脖子难题、推动国产替代"作为亮点，吸引了诸多创新机构和产业方的关注，并与团队围绕技术迭代、成果转化、产业化合作等方向探讨合作事宜。

北京大学团队与惠然科技有限公司

联合研发的等离子体型聚焦离子束原型机

PFIB原型机硅片刻蚀加工效果图

同时，惠然科技将始终聚焦客户需求，以自主核心技术为支撑，为不同领域客户提供定制化解决方案，通过提供高分辨场发射扫描电镜及其衍生设备，切实助力客户突破技术瓶颈、提升研发与生产效率，为客户在新能源、材料科学、生命医学等关键领域的成果产出提供坚实支持，以实际行动推动科学仪器国产替代，赋能我国制造业高质量发展。

北京世润科学仪器有限公司属于惠然科技有限公司代理商。