技术文章_第(7)页－北京世润科学仪器有限公司

白光干涉显微镜在摩擦磨损纳米级磨损体积与磨损机制分析中的应用
2026-09-23 摩擦磨损过程中，材料表面会产生磨粒、犁沟、剥落和疲劳裂纹，磨损体积是评价耐磨性的关键参数。传统称重法精度有限，难以测量局部磨损。白光干涉显微镜可非接触获取磨损区三维形貌，精确计算磨损体积和深度，帮助分析磨损机制。检测时，将磨损试样清洗后置于载物台，先低倍观察磨损整体形貌，再高倍对磨损区进行干涉扫描。软件重建三维形貌，通过对比磨损前后或未磨损基准面，计算磨损体积和深度。操作要点：①清洁试样，去除磨屑和油污；②选择合适放大倍数，磨粒磨损用中倍，微裂纹用高倍；③测量时以未磨损区为基...
白光干涉显微镜在MEMS台阶高度与三维形貌测量中的应用及操作要点
2026-09-23 MEMS器件中的微梁、微齿轮、微通道和悬臂结构，其特征尺寸在微米级，台阶高度和三维形貌直接影响器件性能。白光干涉显微镜可非接触测量MEMS结构的三维形貌、台阶高度和侧壁角度，是MEMS工艺监控和失效分析的常用工具。检测时，将MEMS芯片置于载物台，无需特殊制样。先低倍定位目标结构，再高倍进行干涉扫描。软件重建三维形貌，可测量台阶高度、线宽、侧壁角度和表面粗糙度。操作要点：①保持环境清洁，避免灰尘落入微结构；②使用防震台，减少振动对干涉信号的影响；③选择合适干涉物镜，台阶高度大...
白光干涉显微镜在光学元件表面面形与粗糙度检测中的应用及操作要点
2026-09-23 光学元件（如透镜、反射镜、棱镜、滤光片）的表面面形和粗糙度直接影响成像质量、激光损伤阈值和光学效率。传统干涉仪虽可测面形，但对粗糙表面和复杂形状适应性有限。白光干涉显微镜可测量从超光滑到中等粗糙的光学表面，获取面形、粗糙度和缺陷信息。检测时，将光学元件置于载物台，调整干涉物镜和倾斜台，使干涉条纹疏密适中。软件扫描后重建三维形貌，可计算面形误差（PV、RMS）和粗糙度（Sa、Sq）。操作要点：①清洁表面，避免指纹和灰尘；②对曲面元件，需使用低倍物镜或拼接功能；③调整光强避免过曝...
白光干涉显微镜在半导体晶圆CMP后纳米形貌与碟形凹陷检测中的应用
2026-09-23 化学机械抛光（CMP）是半导体制造中实现晶圆全局平坦化的关键工艺。CMP后晶圆表面可能存在碟形凹陷、侵蚀、划痕和残余颗粒等纳米级缺陷，这些缺陷会影响光刻聚焦和薄膜沉积质量。白光干涉显微镜可非接触测量晶圆表面纳米形貌，是CMP工艺监控的重要工具。检测时，将晶圆样品置于载物台，无需制样。先低倍定位，再高倍对目标区域进行干涉扫描，重建三维形貌。软件可测量碟形凹陷深度、宽度，以及表面粗糙度。操作要点：①在洁净环境下操作，避免颗粒污染；②选择合适干涉物镜，CMP后表面通常较光滑，用高倍...
白光干涉显微镜在超精密加工表面粗糙度与波纹度测量中的应用及操作要点
2026-09-23 超精密加工（如金刚石车削、超精磨、抛光）对零件表面质量要求ji高，表面粗糙度和波纹度直接影响光学性能、密封性和疲劳寿命。传统触针式轮廓仪横向分辨率有限，且可能划伤软质表面。白光干涉显微镜基于白光相干扫描原理，垂直分辨率可达亚纳米级，能非接触获取大面积三维形貌，是超精密表面质量评价的核心设备。检测时，将样品置于载物台，调整物镜和干涉物镜，使干涉条纹清晰。软件控制Z轴扫描，记录每个像素的干涉信号，计算零光程差位置，重建三维形貌。操作要点：①样品表面需清洁，避免油污和灰尘；②根据粗...
超景深显微镜在注塑件表面缺陷与熔接痕三维观察中的应用及操作要点
2026-09-22 注塑件表面常出现熔接痕、流痕、银纹、缩痕和气孔等缺陷，这些缺陷不仅影响外观，还可能降低力学性能。超景深显微镜可对注塑件表面进行三维观察，量化缺陷的深度、宽度和粗糙度，帮助分析注塑工艺参数。检测时，将注塑件直接置于载物台，无需制样。先低倍扫描整体表面，定位缺陷区域，再高倍进行层扫。软件合成全清晰图像并重建三维形貌，可测量熔接痕深度、宽度和角度。操作要点：①使用斜射照明凸显表面起伏和熔接痕；②对透明或半透明注塑件，可使用同轴光或暗场；③选择合适放大倍数，熔接痕用中倍，银纹用高倍；...
超景深显微镜在地质岩心表面微结构与微裂隙分析中的应用及操作要点
2026-09-22 地质岩心是油气勘探和地质研究的重要实物资料。岩心表面的微裂隙、溶孔、层理和矿物晶体形貌，记录了沉积、成岩和构造演化信息。超景深显微镜可对岩心表面进行大视野三维观察，获取微结构和微裂隙的三维形貌数据。检测时，将岩心样品或切片置于载物台，无需特殊处理。先低倍扫描整体表面，观察层理和裂隙分布，再高倍对目标区域进行层扫。软件可测量裂隙宽度、长度、开度，以及溶孔直径和密度。操作要点：①保持样品表面清洁，避免灰尘和油污；②使用斜射光凸显表面起伏和晶体形貌；③对深色岩心，可适当提高光强或使...
超景深显微镜在文物表面微观形貌与风化评估中的应用及操作要点
2026-09-22 文物表面在长期保存中会经历风化、腐蚀、盐析、开裂等病害，这些微观变化往往先于宏观损伤出现。超景深显微镜可非接触观察文物表面微观形貌，获取三维形貌数据，评估风化程度和病害类型，为保护修复提供依据。检测时，将文物或微小样品置于载物台，无需制样。先低倍观察整体表面状态，再高倍对裂纹、锈蚀、盐结晶等区域进行层扫。软件可测量裂纹宽度、锈蚀坑深度、盐结晶颗粒尺寸等。操作要点：①操作环境应稳定，避免振动和气流；②使用柔和照明，避免强光热效应对文物造成损伤；③对脆弱文物，应使用低倍物镜并保持...

共 210 条记录，当前 7 / 27 页首页上一页下一页末页跳转到第页